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上海求和精密机电有限公司
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产品信息
外形图 (按第3角法绘制) |
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技术指标 |
| 型号 | SFS-120XY(WA) |
| 平台尺寸 | 120 x 120mm |
| 孔径尺寸 | 50 x 50mm |
| 驱动装置 | 压电陶瓷驱动件 |
| 小位移传感器 | 位移传感器 |
| 行程 | 100 ± 15% |
| 分辨率 (理论开环) * | 1nm |
| 分辨率 (闭环) * | 20nm |
| 直线度 : Xy, Xz, Yx, Yz | ≤ 1μm |
| 重复定位精度 | ≤ 0.1μm |
| 承载能力 | 2kg |
| 自重 | 1.2kg |
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*以上数据均为采用 FINE-503控制器时的值 | |