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上海求和精密机电有限公司
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产品信息
外形图 (按第3角法绘制) |
技术指标 |
型号 | SFS-OBL-1 |
连接螺纹 | ø20.32mm |
尺寸 | 75 x 52.5 x 42mm |
驱动装置 | 压电陶瓷驱动件 |
小位移传感器 | 位移传感器 |
行程 | 100 ± 15% |
分辨率 (理论开环) * | 1nm |
分辨率 (闭环) * | 10nm |
直线度 : Xy, Xz, Yx, Yz | ≤ 1μm |
重复定位精度 | ≤ 0.1μm |
自重 | 0.15kg |
*以上数据均为采用 FINE-503 控制器时的值 |